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매스 트랜스퍼 본더 MT 시리즈
Micro/Mini LED용 전용 설계로 높은 처리량을 실현
반도체 업계 실적을 기반으로 Micro/Mini LED 전용 설계로 안정적이고 높은 처리량의 pick & place 매스 트랜스퍼 실현.
특장점
- 무빙 서치, 고강성 프레임으로 고정밀(±1.5µm) 실현.
- 독자적인 세라믹 히터, 압력 및 위치 제어 방식을 통해 다양한 온도, 압력, 높이 프로파일이 가능.
- 독자적인 헤드 갭 컨트롤 기능으로 최적의 갭 실현.
- 헤드를 교환하여 저압에서 고압영역까지 대응가능.
사양
| MT3000L | FC3000MS | |
|---|---|---|
| 용도 | 양산, Pilot Line | R&D, 소량생산 |
| 자재 반송 | 자동 반송 | 수동 반송 |
| 기판 사이즈 | 370 x 470mm (max) | 300 x 300mm (max) |
| 웨이퍼 사이즈 | 4・6inch | 4・6inch |
| 사이클 타임 | 3sec/shot | 12sec/shot |
| 얼라인먼트 정밀도 | ±1.5µm | ±2.0µm |
LED 실장기 이미지
