TS코터(TORAY Slit-nozzle Coater)

도레이 독자 기술을 살린 고정밀 도포 장치

당사 TS 코터는 국내외에서 액정 컬러 필터, TFT 어레이 제조 공정, 반도체, 태양전지 업계 등에서 폭넓게 채택되고 있습니다.

특장점

대형 기판에 대한 대응 및 핸들링 기술

• 최대 3,000mm(G10.5) 기판까지 대응 및 핸들링 가능.
• 대형 사이즈의 슬릿 코터에서는 세계 No.1의 점유율.

고정밀 도포 기술

• 키 디바이스의 내제화를 통한 적기 개발 및 고품질 도포 실현.
• 얼룩이나 막 두께 정밀도 요구사양이 높은 LCD 용도로 No.1 실적.

도포~건조까지의 토탈 제안

• 세정~도포~건조~Cure 일관 라인에서의 프로세스 제안 가능.
• 데모 라인에 의한 프로세스 지원.

용 도

FPD

: LCD, CF/TFT, OLED, 터치패널

태양 전지

: 페로브스카이트 태양전지

반도체

: PLP,FOPLP,유리인터포저

조광 유리

: 스마트 유리, 일렉트로크로믹, 기능성 유리, 건자재용 유리 등

사양

대응 기판 크기	300mm×400mm~2,940mm×3,370mm(G1~G11 사이즈)
도포 재료	BM, RGB, OC, PS, MVA, Posi 레지스트, 일렉트로크로믹재, 폴리이미드재, 전극 재료 anode/cathode 재료, 페로브스카이트 발전재료, 수송층
도포법	Slit-Die에 의한 도포액 토출, 스테이지 이동, 갠트리 이동
대응 점도	1〜10,000CP
옵션	에어나이프,핫플레이트/콜드플레이트,진공건조장치

페로브스카이트 태양전지 적용 사례

조광유리 적용 사례

반도체 패키지 적용 사례